抛光片检测

检测流程

1、寄样。(咨询工程师提交检测需求，然后给我们邮寄样品)

2、初检样品。(收到样品之后，初检样品，制定详细的实验方案)

3、报价。(初检之后，根据实验复杂程度以及客户检测需求进行报价)

4、双方确定，签订保密协议，开始实验。(严格保护客户隐私)

5、结束实验。(7-10个工作日完成实验)

6、邮寄检测报告，后期服务。

检测标准参考

GB/T 4058-2009硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T 8756-2018锗晶体缺陷图谱

GB/T 12964-2018硅单晶抛光片

GB/T 12965-2018硅单晶切割片和研磨片

GB/T 14139-2019硅外延片

GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

GB/T 19921-2018硅抛光片表面颗粒测试方法

GB/T 24578-2015硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

GB/T 26066-2010硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

GB/T 26069-2010硅退火片规范

GB/T 26070-2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

GB/T 29504-2013300mm 硅单晶

GB/T 29506-2013300mm 硅单晶抛光片

GB/T 29508-2013300mm 硅单晶切割片和磨削片

GB/T 30656-2014碳化硅单晶抛光片

GB/T 30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

GB/T 30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片

GB/T 31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

GB/T 31353-2014蓝宝石衬底片弯曲度测试方法