表面化学分析

检测标准参考

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BS ISO 14706-2000(R2007)表面化学分析 用全反射X射线荧光(TXRF)分光术测定硅片的表面基本污染

BS ISO 14707-2000表面化学分析.辉光放电发射光谱.使用介绍

BS ISO 14975-2000表面化学分析 信息格式

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BS ISO 20341-2003表面化学分析 次级离子质谱法 用多Δ层参考物质估算深度分辨参数的方法

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BS ISO 24236-2005表面化学分析.俄歇电子光谱法.强度标的可重复性和一致性

GB/T 19499-2004表面化学分析一数据传输格式

GB/T 19500-2004X一射线光电子能谱分析方法通则

GB/T 19502-2004表面化学分析一辉光放电发射光谱方法通则

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GB/T 20176-2006表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

GB/T 21006-2007表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性

GB/T 21007-2007表面化学分析 信息格式

GB/T 22461-2008表面化学分析 词汇